Оборудование предназначено для нанесения тонкопленочных износостойких и декоративных покрытий тугоплавкими электропроводными материалами (титан, цирконий, молибден,
тантал, ванадий, вольфрам) а также их соединений с газами (нитриды, карбонитриды) на мелкоразмерный инструмент, элементы силовой электроники, изделия из керамики, фарфора, стекла.